虽然ISO20000中没有对指标的要求，但由于PDCA要求不断检查衡量流程运行的情况，尤其是在“Check”这个阶段，定量的指标更有助于对流程的监控和检查，以便制定更加准确的改进计划。下面具体介绍一下关键成功因素、关键目标指标和关键绩效指标的定义。
1、关键成功因素(critical success factors , CSF)
关键成功因素是由哈佛大学教授William Zani在1970年提出的信息系统开发规划方法。它为IT部门控制信息技术及其处理过程提供了实施指南;是信息技术处理过程中最关键的要素，是战略性的、技术性的过程或活动，勾画出了IT的控制轮廓。
关 键成功因素可以从标准控制模型和IT管理框架的目标与审计指南中获取。这些标准要求：信息技术要与企业的运营情况相符:信息技术使营运业务可行，并使其收 益最大化;合理使用信息技术资源;适当管理IT的有关风险。在组织运行的业务系统中总是存在着多个影响达成业务系统目标关键的、主要的因素，通过识别这些 关键成功因素能够找出实现目标所需的关键信息结合，围绕这些关键因素确定系统的需求和开发的优先次序。而关键成功因素主要来自以下几个方面。
(1)组织自身的结构、特质和经营性质的不同决定了每个组织有独特的关键成功因素。
(2)组织在市场中的地位、采取竞争策略的不同也会产生不同的关键成功因素。
(3)组织所处环境的变化，市场需求的波动都会带来关键成功因素的改变。
2、关键目标指标(key goal indicator , KGI)
关键目标指标是指通过对控制业务绩效系统的创建和维护，来监督IT给组织带来的商业价值，体现了业务绩效处理的过程，并通过平衡记分卡的记录来评定处理结果。关键目标指标通常定义需要实现的目标。
3、关键绩效指标(key performance indicator , KPI)
关键绩效指标对关键成功因素进行评价，通过监测某IT处理过程的执行情况，告诉管理层该过程是否满足其经营需求。关键绩效指标是IT处理过程的性能指标，表现为IT的实际业绩。通过有效性、保密性、完整性、可用性、一致性、可靠性等指标来测定IT的绩效。
关 键绩效指标是通过对组织内部某一流程的输入端、输出端的关键参数进行设置、取样、计算、分析，衡量流程绩效的一种目标式量化管理指标。对于 ISO20000的管理流程而言，关键绩效指标可以分为三类：对流程本身的效率进行考核的指标、对流程管理人员进行考核的指标、对流程执行人员进行考核的 指标。
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